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三坐標(biāo)測量儀三軸均有氣源制動開關(guān)及微動裝置，可實現(xiàn)單軸的精密傳動，采用高性能數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。應(yīng)用于產(chǎn)品設(shè)計、模具裝備、齒輪測量、葉片測量機械制造、工裝夾具、汽模配件、電子電器等精密測量。
中文名 三坐標(biāo)測量儀 外文名 Trilinear coordinates measuring instrument;Coordinate measuring machine (CMM) X    軸  2500 mm Z    軸  1000 mm Y    軸  1500 mm 領(lǐng)    域 工程技術(shù)

功能原理
簡單地說，三坐標(biāo)測量機就是在三個相互垂直的方向上有導(dǎo)向機構(gòu)、測長元件、數(shù)顯裝置，有一個能夠放置工件的工作臺(大型和巨型不一定有)，測頭可以以手動或機動方式輕快地移動到被測點上，由讀數(shù)設(shè)備和數(shù)顯裝置把被測點的坐標(biāo)值顯示出來的一種測量設(shè)備。顯然這是簡單、原始的測量機。有了這種測量機后，在測量容積里任意一點的坐標(biāo)值都可通過讀數(shù)裝置和數(shù)顯裝置顯示出來。測量機的采點發(fā)訊裝置是測頭，在沿X，Y，Z三個軸的方向裝有光柵尺和讀數(shù)頭。其測量過程就是當(dāng)測頭接觸工件并發(fā)出采點信號時，由控制系統(tǒng)去采集當(dāng)前機床三軸坐標(biāo)相對于機床原點的坐標(biāo)值，再由計算機系統(tǒng)對數(shù)據(jù)進行處理。

儀器簡介
三坐標(biāo)測量儀是指在一個六面體的空間范圍內(nèi)，能夠表現(xiàn)幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，又稱為三坐標(biāo)測量機或三坐標(biāo)量床。三坐標(biāo)測量儀又可定義“一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導(dǎo)軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個軸的位移測量系統(tǒng)（如光柵尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計算機等計算出工件的各點（x，y，z）及各項功能測量的儀器”。三坐標(biāo)測量儀的測量功能應(yīng)包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等 [1]  。
機型介紹
結(jié)構(gòu)型式：三軸花崗巖、四面全環(huán)抱的德式活動橋式結(jié)構(gòu)
傳動方式：直流伺服系統(tǒng) + 預(yù)載荷高精度空氣軸承
長度測量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.1μm
測頭系統(tǒng)：雷尼紹控制器、雷尼紹測頭、雷尼紹測針
機 臺：高精度（00級）花崗巖平臺
使用環(huán)境：溫度(20±2)℃，濕度40%-70% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h
空氣壓力：0.4 MPa - 0.6 Mpa
空氣流量：25 L/min
長度精度MPEe： ≤2.1+L/350 (μm)
探測球精度MPEp： ≤2.1μm

性能特點
1、 X向橫梁：采用精密斜梁技術(shù)。
2、Y向?qū)к墸翰捎锰氐闹苯蛹庸ぴ诠ぷ髋_上的整體下燕尾槽定位結(jié)構(gòu)。
3、導(dǎo)軌方式：采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承組成的四面環(huán)抱式靜壓氣浮導(dǎo)軌。
4、驅(qū)動系統(tǒng)：采用本產(chǎn)高性能DC直流伺服電機、柔性同步齒形帶傳動裝置，各軸均有限位和電子控制，傳動更快捷、運動性能更佳。
5、Z向主軸：可調(diào)節(jié)的氣動平衡裝置，提高了Z軸的定位精度。
6、控制系統(tǒng)：采用進口的雙計算機三座標(biāo)控制系統(tǒng)。
7、機器系統(tǒng)：采用計算機3D誤差修正技術(shù)（CAA），保證系統(tǒng)的長期的穩(wěn)定性和高精度。
8、測量軟件：采用功能強大的3D-DMIS測量軟件包，具有完善的測量功能和聯(lián)機功能。
Z軸平衡的調(diào)整
測量機的Z軸平衡分為重錘和氣動平衡，主要用來平衡Z軸的重量，使Z軸的驅(qū)動平穩(wěn)。如果誤動氣壓平衡開關(guān)，會使Z軸失去平衡。處理的方法：
1) 將測座的角度轉(zhuǎn)到90°，避免操作過程中碰測頭。
2) 按下“緊急停”開關(guān)。
3) 一個人用雙手托住Z軸，向上推、向下拉，感覺平衡的效果。
4) 一人調(diào)整氣壓平衡閥，每次調(diào)整量小一點，兩人配合將Z軸平衡調(diào)整到向上和向 下的感覺一致即可。
行程終開關(guān)是用于機器行程終保護和HOME時使用。行程終開關(guān)一般使用接觸式開關(guān)或光電式開關(guān)。開關(guān)式容易在用手推動軸運動時改變位置，造成接觸不良。可以適當(dāng)調(diào)整開關(guān)位置保證接觸良好。光電式開關(guān)要注意檢查插片位置正常，經(jīng)常清除灰塵，保證其工作正常   。